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苏州晶淼半导体设备有限公司

主营: 半导体清洗机,半导体清洗设备,半导体湿法设备

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清洗腐蚀设备诚信企业「多图」

发布时间:2022-09-05 13:43:00        作者:苏州晶淼半导体







半导体清洗机

半导体清洗机原理主要是通过换能器,然后将功率超声频源的声能转换成机械振动,通过清洗槽壁将超声波辐射到槽子中的清洗液。由于受到了超声波的辐射,使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。

在液体中传播的超声波能对物体表面的污物进行清洗,其原理可用“空化”现象来解释:超声波振动在液体中传播的音波压强达到一个大气压时,其功率密度为0.35w/cm2,那么这时超声波的音波压强峰值就可达到真空或负压,但是实际上无负压存在,因此在液体中就会产生一个很大的力,然后将液体分子拉裂成空洞一空化核。此时空洞会非常接近真空的,它在超声波压强反向是会达到*这种由无数细小的空化气泡而产生的冲击波现象称为“空化”现象。





湿法刻蚀设备

是一种刻蚀方法,主要在较为平整的膜面上刻出绒面,从而增加光程,减少光的反射,刻蚀可用稀释的盐酸等湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简单来说,就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念,它是一种纯化学刻蚀,具有优良的选择性,刻蚀完当前薄膜就会停止,而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性,所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀,横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的深度。这样一来,上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差,也就无法高质量地完成图形转移的工作,因此随着特征尺寸的减小,在图形转移过程中基本不再使用。目前,湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节,而在图形转移中干法刻蚀已占据主导地位。




产品说明

1、 该腐蚀机通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态进行对工件腐蚀以提高生产效率;2、该机加大了喷淋与被蚀刻金属板的有效面积和蚀刻均匀程度,无论在蚀刻效果、速度和改善操作者的环境及方便程度,都优于泼溅式蚀刻;3、 经反复实验喷射压力在1-2 Kg/cm2的情况下被蚀刻工件上所残留的蚀刻圬渍能被有效清处掉,使蚀刻速度在传统蚀刻法上大大提高,由于该蚀刻机液体可循环再生使用,此项可大大降低蚀刻成本,也可达到环保加工要求。 ·该双面腐蚀机可配备自动烘干烘烘道,自动双面显影机,自动上色机,数控制版机,堆金电镀机可达到各种金属加工行业的批量加工要求;·此机适合单双面图文腐蚀,亦能雕穿金属形成镂空效果,适合现有仍采用较老式的泼溅式蚀刻机或其它金属加工厂升级设备。·该腐蚀机可对各种金属如:铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状,并能*确镂空。也可针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割,现在广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼睛脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。




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